羅茨真空機組在進行生產使用前，要仔細檢查各部位的緊固件，是否出現松動的情況，如果有松動的話要校正擰緊。運行前水箱要加滿水，以及打開泵進口閥，再開始運行，要避免脫水空轉以及反轉，防止對機封、葉輪及泵體其它部件的損壞。羅茨真空機組停止運行前，先打開放空閥，或者等真空度降到0.092MPa以下。因為要防止真空度過高形成倒吸，造成止回閥的損壞。水箱內的循環水要經常更換或補充，循環水盡量要保持較底的水溫，水溫過高會影響機器的排氣量和真空度。羅茨真空機組要先關閉蒸汽閥再停止運行，防止溫度過高而損壞水噴射真空泵。羅茨真空機組在安裝蒸汽管路的時候，管路一定要保持水平，避免管內有積水，會直接影響真空的效果。